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電鏡原位氣氛加熱環(huán)境測(cè)量系統(tǒng)原位解決方案

簡(jiǎn)要描述:PicoFemto電鏡原位氣氛加熱環(huán)境測(cè)量系統(tǒng)原位解決方案,將MEMS氣氛環(huán)境微腔和加熱模塊集成到掃描電鏡樣品臺(tái)上,在掃描電鏡中制造可控的氣氛環(huán)境并且可以對(duì)實(shí)驗(yàn)樣品原位加熱。

  • 產(chǎn)品型號(hào):
  • 廠商性質(zhì):代理商
  • 更新時(shí)間:2024-09-23
  • 訪  問  量:673

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品描述

PicoFemto掃描電鏡原位氣氛加熱環(huán)境測(cè)量系統(tǒng),將MEMS氣氛環(huán)境微腔和加熱模塊集成到掃描電鏡樣品臺(tái)上,在掃描電鏡中制造可控的氣氛環(huán)境并且可以對(duì)實(shí)驗(yàn)樣品原位加熱。該系統(tǒng)允許研究者在氣氛環(huán)境中原位、動(dòng)態(tài)、高分辨地對(duì)樣品的形貌結(jié)構(gòu)和化學(xué)組分進(jìn)行綜合表征,大大拓展了掃描電鏡的功能與應(yīng)用領(lǐng)域。該產(chǎn)品可實(shí)現(xiàn)1 Bar & 800 ℃的觀測(cè)條件,使研究者可以在掃描電鏡中實(shí)時(shí)觀測(cè)催化反應(yīng)、氧化還原反應(yīng)、低維材料生長(zhǎng)/合成以及各類腐蝕反應(yīng),將您的掃描電鏡從一臺(tái)靜態(tài)成像工具升級(jí)為一套功能強(qiáng)大的納米實(shí)驗(yàn)室。


• 性能指標(biāo)

氣體流動(dòng)指標(biāo):

△ 三通道混氣;

△ 氣壓范圍:0 - 1 Bar;

△ 氣壓準(zhǔn)確度:30 mBar;

△ 氣體流速: 0.01 - 0.4 ml/min;

△ 可通氣體:H2, N2, O2, He, Ar, CO, CO2, CxHy等;

△ 軟件控制。

 

掃描電鏡指標(biāo):

△ 兼容類型電鏡;

△ 保證電鏡原有真空度;

△ MEMS反應(yīng)微腔指標(biāo):

△ 高質(zhì)量氮化硅膜厚度30 nm;

△ 樣品漂移優(yōu)于0.7 nm/min。

 

熱學(xué)指標(biāo):

△ 溫度范圍:室溫至800 ℃;

△ 溫度準(zhǔn)確度:優(yōu)于5%; 

△ 溫度穩(wěn)定性:優(yōu)于±0.1 ℃;

△ 四電極加熱,帶溫度反饋;

△ 軟件控制。 


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